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MarSurf UD 130 技术参数
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数据的获得基于标准测针 LPD14-10-2/60°
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水平轴
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扫描长度 (Lt)
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0.1 mm ~ 130 mm
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安全外壳
（含可自动关闭对应进给电机的安全保护传感器）
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前，粗糙度检测仪价格，后
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定位速度
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0.1 mm/s ~ 30 mm/s
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测量速度
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0.1 mm/s ~ 5 mm/s；
粗糙度测量，非接触式粗糙度测量仪，推荐 0.1 mm/s ~ 0.5 mm/s
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X 方向取样间距
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0.25 μm ~ 10 μm 可调
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每次测量最大测量点数
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520000 点
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分辨率
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2 nm
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测量力
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1 mN ~ 30 mN，无锡粗糙度仪，软件中可调整
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测头系统 (w)
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测量方向 Z+/Z-
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测头测量范围
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10 mm
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残余误差 Rzo, Rqo
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测量和评价条件按照 DIN EN ISO 3274，便携式表面粗糙度测量仪，Lc=0.25 mm，日本三丰粗糙度测量仪，Lc/Ls=100
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vt=0.1 mm/s 时的残余误差
vt=0.5 mm/s 时的残余误差
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Rz<40 nm
Rz<50 nm
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轮廓
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所有的信息参考 VDI/VDE 2629 文件 1-MPE 最大允许误差
测量条件参照测臂数据文件
长度 L 和半径 R 值以 mm 为单位
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距离测量显示误差 EA(MPEEA)
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±(1.0 + 2*L/150) μm；L 为 mm
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半径测量显示误差 Rk(MPER)
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(R ≤ 10 mm) ±1.5 μm
(10 mm < R ≤ 300 mm) ±(3R/20) μm，粗糙度仪测量误差，R 为 mm
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一般参数
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工作环境温度
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+15 ℃ 到 +35 ℃
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满足技术指标的建议工作温度
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20 ℃ ± 2K
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根据 VDI/VDE 标准推荐测量室等级 2627
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2 或更好
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