|
MarSurf LD 130 / LD 260 技术参数
|
|
技术参数对标准测臂 LP D 14-10-500 和 LP D14-10-2/60° 有效
|
|
|
MarSurf LD 130
|
MarSurf LD 260
|
|
水平轴的特性
|
|
行程长度 (f)
|
0.1 mm 到 130 mm
|
0.1 mm 到 260 mm
|
|
可自动关闭各自进给电机的安全外壳
|
前，粗糙度测试仪价格，后
|
|
定位速度
|
0.02 mm/s 到 200 mm/s
|
0.02 mm/s 到 200 mm/s
|
|
测量速度
|
0.02 mm/s 到 10 mm/s；
粗糙度测量推荐速度 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s
|
|
X 方向取样间距
|
0.05 μm 至 30 μm，数显粗糙度仪价格，可调整
|
|
每次测量最多测量点
|
2600000 点
|
5200000 点
|
|
分辨率
|
0.8 nm
|
|
X 轴测量的不确定度
|
±(0.2+V/1000) μm；1 单位 mm
|
|
测量立柱 ST500CNC(HZ+HB) 或 ST750CNC(HZ+HB) 的倾斜调整
|
±45°，增加表面粗糙度，不需要调整测量力
|
|
测头系统特征 (W)
|
测量方向 Z+/Z-
|
|
测头测量范围
|
13 mm（100 mm 测臂）
26 mm（200 mm 测臂）
|
|
测量力
|
0.5 mN 到 30 mN，上海粗糙度轮廓仪，可通过软件设置
|
|
残余误差 RzO, Rq0
|
|
测量和评价条件按照 DIN EN ISO 3274，三丰粗糙度仪，Lc=0.25 mm，全自动表面粗糙度仪，Lc/Ls=100
|
|
vt=0.1 mm/s 时的残余误差
|
RzO≤20 nm
RqO≤1 nm, typical
|
|
轮廓
|
所有的信息参考 VDI/VDE 2629 文件 1-MPE 最大允许误差
测量条件参照测臂数据文件
长度 L 和半径 R 值以 mm 为单位
|
|
距离测量显示误差 EA(MPEEA)
|
±(1.0+l/150) μm；1 单位 mm
|
|
半径测量显示误差 Rk(MPER)
|
(R ≤ 10 mm) ±1 μm
(10 mm < R ≤ 300 mm) ±0.17+(R 12) μm
(R > 300 mm) ±(-18+R/7) μm
|
|
一般参数
|
|
工作环境温度
|
+15 ℃ 到 +35 ℃
|
|
建议工作温度
|
20 ℃ ± 2 K
|
|
根据 VDI/VDE 标准推荐测量室等级 2627
|
2 或更好
|
查看大图
