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    层流元件
    型 号:molbloc-L
    品 牌:美国福禄克FLUKE
    技术指标:范围 从0到molbloc满刻度,取决于气体和molbloc压力
    取决于校准类型(请参阅第1.2.5.1.3节)
    沧州层流元件-molbloc-L-美国福禄克FLUKE

    用于1 sccm到100 slm流量的层流元件

    molbloc-L 是与 molbox 质量流量终端结合使用的层流元件。molbloc 流量路径位于 molbloc 内,是活塞与结合紧密的汽缸体之间的纵向环形间隙。通过调整这个间隙的尺寸,可获得不同的 molbloc 量程。对于高流量量程(1E4 尺寸及以上),需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 机体。

    特性一览

    ·         可与现有的 molbox1+ 和 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用

    ·         整合了过滤器,可保护其免受污染

    ·         完整的气体温度调节和测量

    ·         连续、实时的读数

    ·         可以实现全自动

    ·         无活动部件

    molbloc-L量程
    molbloc 尺寸由一些相对于标称流量阻抗的数字指定。在 250 kPa 绝压 (36 psia) 上游压力和 50 kPa (7.5 psid) 压力差的情况下,当氮气流经 molbloc 时,标称阻抗可产生标称流量量程。在实践中,molbloc 流量量程可能与标称流量量程差别很大。这些差别来自气体之间的密度和粘性之间的差别,也来自不同的 molbloc 工作压力校准选项。

    技术指标-标准molbloc-L校准-与molbox1+终端结合使用

    测量更新速率

    1秒

    范围

    从0到molbloc满刻度,取决于气体和molbloc压力
    取决于校准类型(请参阅第1.2.5.1.3节)

    分辨率

    0.0015 % FS

    线性

    ±0.05%读数,从10%到100% FS
    ±0.005% FS,在10% FS以下

    重复性

    ±0.05%读数,从10%到100% FS
    ±0.005% FS,在10% FS以下

    精确度1

    ±0.07%读数,从10%到100% FS
    10%FS下为±0.007%FS

    稳定度2
    (1年期)

    ±0.09%读数,从10%到100% FS
    10%FS下为±0.009%FS

    测量不确定度3

    ±0.2%读数,从10%到100% FS
    10%FS下为±0.02%FS

    (N2和molbox1+支持且molbloc校准时使用的任意气体)

    1E5 molbloc
    ±0.5%读数,从25%到100% FS
    ±0.125% FS,在25% FS以下

    1 精确度:包含线性度、迟滞和可重复性。
    2 稳定度:典型molbox1+和molbloc在典型环境下使用时特定时间段内从零到范围值的最大变化情况。由于稳定度只能是一种预测,因此应该根据经验建立特定molbloc和molbox1+的稳定度。
    3 测量不确定度(精确度):molbox1+流量指示相对于通过molbloc的流量真值的最大偏差,包括精确度、稳定度和福禄克公司计量校准部的标准测量不确定度。


    技术指标-特级molbloc-L校准-与molbox1+终端结合使用

    测量更新速率

    1秒

    范围

    从0到molbloc满刻度,取决于气体和molbloc压力取决于校准类型(请参阅第1.2.5.1.2节)

    分辨率

    0.0015 % FS

    线性

    ±0.05%读数,从10%到100% FS
    ±0.005% FS,在10% FS以下

    重复性

    ±0.05%读数,从10%到100% FS
    ±0.005% FS,在10% FS以下

    精确度1

    ±0.07%读数,从10%到100% FS
    10%FS下为±0.007%FS

    稳定度2
    (1年期)

    ±0.03%读数,从10%到100% FS
    10%FS下为±0.003%FS

    测量不确定度3

    ±0.125%读数,从10%到100% FS
    10%FS下为±0.0125%FS

    (N2和molbox1+支持且molbloc校准时使用的任意气体)

    1E5 molbloc-L特级校准不可用

    1 精确度:包含线性度、迟滞和可重复性。
    2 稳定度:典型molbox1+和molbloc在典型环境下使用时特定时间段内从零到范围值的最大变化情况。由于稳定度只能是一种预测,因此应该根据经验建立特定molbloc和molbox1+的稳定度。
    3 测量不确定度(精确度):molbox1+流量指示相对于通过molbloc的流量真值的最大偏差,包括精确度、稳定度和福禄克公司计量校准部的标准测量不确定度。


    技术指标-标准molbloc-L校准-与molbox RFM终端结合使用

     

    molbloc-L(量程从1E1-L到3E4-L)

    测量更新速率

    1秒

    范围

    从0到molbloc满刻度,取决于气体和molbloc压力,取决于校准类型(请参阅molbloc-L量程表)

    分辨率

    0.01% FS

    线性

    ±0.23%读数,从10%到100% FS;±0.023% FS,在10% FS以下

    重复性

    ±0.1%读数,从10%到100% FS;±0.01% FS,在10% FS以下

    精确度1

    ±0.25%读数,从10%到100% FS;±0.025% FS,在10% FS以下

    预测的稳定度2
    (一年期)

    ±0.15%读数,从10%到100% FS;±0.015% FS,在10% FS以下

    测量不确定度3

    ±0.5%读数,从10%到100% FS;±0.05% FS,在10% FS以下


    具有微量程选项的molbox RFM

     

    molbloc-L(量程从1E1-L到3E4-L)

    molbloc-L(量程仅仅是1E5)

    测量更新速率

    1秒

    1秒

    范围

    从0到molbloc满刻度,取决于气体和molbloc压力,取决于校准类型(请参阅molbloc-L表)

    从0到molbloc满刻度,取决于气体和molbloc压力,取决于校准类型(请参阅molbloc-L表)

    分辨率

    0.01 % FS,在0.001 % FS以下;0.001 % FS,在10% FS以下

    0.01% FS

    线性

    ±0.23%读数,从1%到100% FS
    ±0.0023% FS,在1% FS以下

    ±0.25%读数,从5%到100% FS;±0.0125% FS,在5% FS以下

    重复性

    ±0.1%读数,从1%到100% FS;±0.001% FS,在1% FS以下

    ±0.2%读数,从5%到100% FS;±0.01% FS,在5% FS以下

    精确度1

    ±0.25%读数,从1%到100% FS;±0.0025% FS,在1% FS以下

    ±0.32%读数,从5%到100% FS;±0.016% FS,在5% FS以下

    预测的稳定度2
    (一年期)

    ±0.15%读数,从1%到100% FS;±0.0015% FS,在1% FS以下

    ±0.2%读数,从5%到100% FS;±0.01% FS,在5% FS以下

    测量不确定度3

    ±0.5%读数,从1%到100% FS;±0.005% FS,在1% FS以下

    ±0.5%读数,从5%到100% FS;±0.025% FS,在5% FS以下

     

    型号

    描述

    1E1 VCR-V-Q

    molbloc质量流元素

    每一个molbloc在交付时都附带以下内容:

    ·        存储和运输箱

    ·        柔软的,可重复使用的VCR O形圈和安装说明

    ·        全模,低压氮气(N2)校准。

    其他N2校准和/或没有N2气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

    ·        对美国国家标准与技术研究所(NIST)的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

    5E1 VCR-V-Q

    molbloc质量流元素

    每一个molbloc在交付时都附带以下内容:

    ·        存储和运输箱

    ·        柔软的,可重复使用的VCR O形圈和安装说明

    ·        全模,低压氮气(N2)校准。

    其他N2校准和/或没有N2气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

    ·        对美国国家标准与技术研究所(NIST)的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

    1E2 VCR-V-Q

    molbloc质量流元素

    每一个molbloc在交付时都附带以下内容:

    ·        存储和运输箱

    ·        柔软的,可重复使用的VCR O形圈和安装说明

    ·        全模,低压氮气(N2)校准。

    其他N2校准和/或没有N2气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

    ·        对美国国家标准与技术研究所(NIST)的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

    2E2 VCR-V-Q

    molbloc质量流元素

    每一个molbloc在交付时都附带以下内容:

    ·        存储和运输箱

    ·        柔软的,可重复使用的VCR O形圈和安装说明

    ·        全模,低压氮气(N2)校准。

    其他N2校准和/或没有N2气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

    ·        对美国国家标准与技术研究所(NIST)的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

    5E2 VCR-V-Q

    molbloc质量流元素

    每一个molbloc在交付时都附带以下内容:

    ·        存储和运输箱

    ·        柔软的,可重复使用的VCR O形圈和安装说明

    ·        全模,低压氮气(N2)校准。

    其他N2校准和/或没有N2气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

    ·        对美国国家标准与技术研究所(NIST)的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

    1E3 VCR-V-Q

    molbloc质量流元素

    每一个molbloc在交付时都附带以下内容:

    ·        存储和运输箱

    ·        柔软的,可重复使用的VCR O形圈和安装说明

    ·        全模,低压氮气(N2)校准。

    其他N2校准和/或没有N2气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

    ·        对美国国家标准与技术研究所(NIST)的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

    5E3 VCR-V-Q

    molbloc质量流元素

    每一个molbloc在交付时都附带以下内容:

    ·        存储和运输箱

    ·        柔软的,可重复使用的VCR O形圈和安装说明

    ·        全模,低压氮气(N2)校准。

    其他N2校准和/或没有N2气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

    ·        对美国国家标准与技术研究所(NIST)的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

    1E4 VCR-V-Q

    molbloc质量流元素

    每一个molbloc在交付时都附带以下内容:

    ·        存储和运输箱

    ·        柔软的,可重复使用的VCR O形圈和安装说明

    ·        全模,低压氮气(N2)校准。

    其他N2校准和/或没有N2气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

    ·        对美国国家标准与技术研究所(NIST)的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

    3E4 VCR-V-Q

    molbloc质量流元素

    每一个molbloc在交付时都附带以下内容:

    ·        存储和运输箱

    ·        柔软的,可重复使用的VCR O形圈和安装说明

    ·        全模,低压氮气(N2)校准。

    其他N2校准和/或没有N2气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

    ·        对美国国家标准与技术研究所(NIST)的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

    1E5 VCR-V-Q

    molbloc质量流元素

    每一个molbloc在交付时都附带以下内容:

    ·        存储和运输箱

    ·        柔软的,可重复使用的VCR O形圈和安装说明

    ·        全模,低压氮气(N2)校准。

    其他N2校准和/或没有N2气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

    ·        对美国国家标准与技术研究所(NIST)的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

    molbloc-S校准选件

    低压20到200 kPa(3到30 psia)

    molbloc上游(指定溢价或标准)


    标准压力50到500 kPa(7到70 psia)

    molbloc上游(指定溢价或标准)


    高压200到2000 kPa(30到300 psia)

    molbloc上游(指定溢价或标准)



    通用配件:


    配件

    描述

    molbloc-L出口

    工作压力(绝压):
    molbloc大气压出口
    高级或标准

    molbloc-L高压

    工作压力(绝压):
    molbloc进口处为325至525 kPa(48至76 psia)

    molbloc-L低压

    工作压力(绝压):
    molbloc进口处为250至325kPa((36至48psia)
    高级或标准

     

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