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技术文章
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    半导体工厂气体检测仪
    型 号:PS-2CKⅢ
    品 牌:日本新宇宙
    技术指标:检测 TEOS等烷氧基系列气
    固原半导体工厂气体检测仪-PS-2CKⅢ-日本新宇宙
    型号 PS-2CKⅢ
    检测原理 热分解离子化式
    检测气体对象 TEOS等烷氧基系列气体
    指示范围 按照另外规格
    传感器供给电源 由各指示计组件供给
    泵电源 AC100V±10%
    可延长距离 1km(使用2mm2线)
    检测方式 泵吸引式
    防爆结构 非防爆结构
    使用温度范围 0℃~40℃
    使用电缆线 2芯+2芯屏蔽电缆线
    重量 约9.3kg

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