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技术文章
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    氢化物气体检测分析仪
    型 号:FP-260
    品 牌:日本理研RIKEN
    技术指标:检测半导体各种气体
    垦利氢化物气体检测分析仪-FP-260-日本理研RIKEN
    详细介绍
    工业半导体净化室的理想检测仪
    更适于低浓度气体检测(ppm级)
    抗干扰性强
    盒式带取放简便
    盒带剩余量显示
    功能描述
    使用盒式纸带的光电光度学原理
    盒式纸带,VHS型快速更换型盒带
    AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(在检测状态耗能为35VA,在纸带卷动时耗能为60VA)
    物理特性
    370mm
    275mm
    220mm
    约12kg
    持有证书
    CE
    其它
    检测气体和范围
    检测气体
    TLV值
    检测范围
    解析值
    磷 PH4
    300ppb
    0--900ppb
    5
    四氢化硅 SiH4
    5ppm
    0--15ppm
    0.25
    乙硼烷 B2H6
    100ppb
    0--300ppb
    5
    砷烷AsH3
    50ppb
    0--150ppb
    1
    乙硅烷 SiH6
    5ppm
    0--10ppm
    0.1
    硫化氢 HS2
    10ppm
    0--100ppm
    1
    光气 COCl2
    100ppb
    0--300ppb
    2
    氯气 Cl2
    0.5ppm
    0--100ppb
    1
    硒化氢 H2Se
    50ppb
    0--300ppb
    2
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