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技术文章
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    半导体工厂气体检测仪
    型 号:PS-6ND
    品 牌:日本新宇宙
    技术指标:检测原理:热分解,定电位电解式;NF3,CCI4用 
    瑞安半导体工厂气体检测仪-PS-6ND-日本新宇宙
    功能描述
    检测原理: 热分解,定电位电解式;NF3,CCI4用
    采样方式: 泵吸引式
    采样配管: 特富龙外径6/内径4mm,配管距离20m以内;但吸着性强的气体最大配管距离为5m
    气体浓度显示: 0~9999LED显示
    输出信号: 用DeviceNet的数字通信
    流量低下信号: 用DeviceNet的数字通信
    适合电缆: 电源用:KW或KW-P2芯;通信:DeviceNet专用电缆
    使用温度: 0℃~40℃
    消耗电力 本机:约15W通信,约2W
    电源需求
    电压 DC24±10%
    物理特性
    长度 145mm(突起部分除外)
    宽度 37mm
    高度 198mm
    重量 2.7kg
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