|
|
|
半导体工厂气体检测仪 |
|
| 型 号：PS-6AH |
| 品 牌：日本新宇宙 |
| 技术指标：检测半导体工厂各类气体 |
 |
松原半导体工厂气体检测仪-PS-6AH-日本新宇宙
| 功能描述 |
|
| 检测原理： |
定电位电解式，，热线型半导体式，，隔膜Galvanic电池式 |
| 检测气体： |
SiH4,PH3,B2H6等 |
| 采样方式： |
泵吸引式 |
| 采样管道： |
特富龙外径6/内径4mm配管距离20m以内，，但吸着性强的气体最大配管距离为5m |
| 气体浓度显示： |
0～9999LED显示 |
| 输出信号： |
4～20mA(与电源的负端共用） |
| 报警输出： |
第1段第2段都是开路集电极OFF |
| 适合电缆: |
KW～P3芯或4芯 |
| 适用温度： |
0～40℃ |
| 电源: |
DC24V±10% |
| 消耗电力： |
约10W |
| 物理特性 |
|
| 长度 |
198mm |
| 宽度 |
145mm |
| 高度 |
37mm |
| 重量 |
约2.7kg |
|
